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製品情報【高真空排気装置｜高真空排気装置　ターボ分子シリーズ】

特長・用途・目的

特長	■好評頂いています高真空排気装置にTMP付仕様をラインアップ ■三方バルブにより、粗引が別系統で可能なため粗引時間の短縮が可能 ■入力電源はAC100Vで、研究開発に最適 ■冷却水不要 ■簡易型ピラニ真空計を標準装備 ■オプションにて、コールドカソードゲージ又は、電離真空計の取付が可能 ■既存の油拡散ポンプタイプの排気セットと同寸法にて設計していますので、入替が容易です
用途	■ドライプロセスの真空排気に ■食品・医薬・化学の研究開発 ■真空乾燥・真空蒸留 ■各種真空排気システム用 ■研究・開発用

カタログ（PDF）

ラインナップ

型式	DS-305T
到達圧力	×10-4Pa台
油回転ポンプ容量	150L/min
ターボ分子ポンプ容量	44L/s(N2)
主バルブフランジ呼経	80A
電源（1ф　AC100V）	1.3ｋVA
質量	67Kg

型式	DS-422T
到達圧力	×10-4Pa台
油回転ポンプ容量	150L/min
ターボ分子ポンプ容量	220L/s(N2)
主バルブフランジ呼経	100A
電源（1ф　AC100V）	1.7ｋVA
質量	73Kg

型式	DS-435T
到達圧力	×10-4Pa台
油回転ポンプ容量	150L/min
ターボ分子ポンプ容量	330L/s(N2)
主バルブフランジ呼経	100A
電源（1ф　AC100V）	1.7ｋVA
質量	74Kg

*オプション：各種真空計、ベローズガスバルブ　他

※外観寸法図のダウンロードはこちらからお願いします。

・DS-305T　[PDF] [DXF]
・DS-422T　[PDF] [DXF]
・DS-435T　[PDF] [DXF]