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実験サービスをご紹介

実験サービスをご紹介

実験サービスの概要

大亜真空では、お客様が安心して装置を購入いただけるように、事前に実験を行っていただくサービスを提供しております。
製品を製作するための処理条件、装置仕様の決定にお役立てください。実験の詳細につきましては下記へお問合せください。

【ご利用にあたっての注意】

  1. 受託加工はお請けしておりません。
  2. 開発実験機をご利用いただく際には、使用料金をいただきます。
047-459-7628(本社営業部)
 0798-54-1869(西日本営業所) 受付/平日 9:00~17:00 ※営業部宛にご連絡ください。
メールでのお問合せはこちらをクリックしてください。

実験機を紹介

実験機名 仕様 用途

高温真空炉

高温真空炉
●ヒータ
 タングステンヒータ
●炉内有効寸法
 ф100 × H200 加熱温度:2000ºC
●加熱雰囲気
 真空中 10⁻²~10⁻⁴ Pa , Arガス中
各種金属の脱ガス、焼結

真空ホットプレス

●ヒータ
 カーボンヒータ
●炉内有効寸法
 ф300 × H200 加熱温度;2000ºC
●加熱雰囲気
 真空中 10⁻²~10⁻⁴ Ar、N2ガス中
●プレス圧力
 低圧 0.1~5.0 Ton 高圧 0.4~30Ton
金属、セラミックスの粉末焼結, 金属の拡散接合, 熱処理

アーク溶解炉
ACM-M01
ACM-S01

超小型アーク溶解炉ACM-M01
●アーク電流
 300A、500A
●銅ハース種類
 5種類 ( ф20~ф100 × t10, W15 × L90 × t10 )
 引き下げ鋳型
●溶解雰囲気
 真空排気後Arガスに置換
高融点金属の合金化、脱ガス、活性金属の溶解

スパッタ装置

●ターゲット
 3インチ × 3 ( 多元スパッタ、同時スパッタ可能 )
●スパッタ方式
 RF、DC ( サイドスパッタ )
光学薄膜、磁性薄膜、透明導電膜、合金薄膜

陽極接合装置

●基板加熱ヒータ
 4インチ、6インチ 加熱温度;500ºC
●使用雰囲気
 真空中 10⁻²~10⁻⁴ Pa , Arガス中
●印加電圧
 1kv
シリコン基板とガラス基板の接合 ( MEMSセンサー、マイクロマシン )
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