真空機器／真空計測器／真空装置の製造・メンテナンス

高真空排気装置【製品一覧】

高真空排気装置　油拡散ポンプシリーズ

■コンパクトにユニット化され真空容器に容易に接続できる高性能高真空排気装置
■油回転ポンプと油拡散ポンプのシステム
　　　空冷型・水冷型の2種類からお選び頂けます
■簡易型ピラニ真空計、液体窒素トラップを標準装備しています
■下記のような安全回路を装備しています
　　　○油回転ポンプ停止後自動復帰防止
　　　○油回転ポンプモータ過負荷保護
　　　○油拡散ポンプの異常昇温防止
　　　○油拡散ポンプヒータ過電流防止
　　　○油拡散ポンプ冷却水圧低下警告及び
　　　　 油拡散ポンプOFF機能付

製品詳細情報

高真空排気装置　ターボ分子シリーズ

■好評頂いています高真空排気装置にTMP付仕様をラインアップ
■三方バルブにより、粗引が別系統で可能なため粗引時間の短縮が可能
■入力電源はAC100Vで、研究開発に最適
■冷却水不要
■簡易型ピラニ真空計を標準装備
■オプションにて、コールドカソードゲージ又は、電離真空計の取付が可能
■既存の油拡散ポンプタイプの排気セットと同寸法にて設計していますので、入替が容易です

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