真空機器／真空計測器／真空装置の製造・メンテナンス

真空計　TRシリーズ【製品一覧】

隔膜真空計　TRD-10-P12NC／TRD-10-P13NC

■圧力検出にピエゾ素子（拡散形半導体圧力センサ）を採用
■内部に対向電極が無いため、一般的な隔膜真空計に比べ外気圧変動による影響が小さい。
■センサチップ（補正抵抗）と温度測温補正による2段階補正により温度特性が向上（当社比）。
■接ガス部にSUS316Lを使用し耐腐食性を向上。

製品詳細情報

複合真空計　TRPC-21

■未放電防止機能を追加しました
■お客様のご要望に応えD-SUBコネクタを新たに採用しました
■アナログ電圧出力が１→２種類選択できるようになりました
■セットポイント設定の分解能が仮数部１→２桁になりました

製品詳細情報

ピラニ真空計　TRP-12／TRP-12SP

■お客様のご要望に応えD-SUBコネクタを新たに採用しました
■デジタル温度補正で高精度測定
■センサユニット交換が容易
■簡単ワンプッシュでATM/VAC調整
■アナログ電圧出力が１→２種類選択できるようになりました
■セットポイント設定の分解能が仮数部１→２桁になりました

製品詳細情報

ピラニ真空計　TRP-31／TRP-31SP

■白金フィラメントを用いた耐腐食型ピラニ真空計
■お客様のご要望に応えD-SUBコネクタを新たに採用しました
■デジタル温度補正で高精度測定
■センサユニット交換が容易
■簡単ワンプッシュでATM/VAC調整
■アナログ電圧出力が１→２種類選択できるようになりました
■セットポイント設定の分解能が仮数部１→２桁になりました

製品詳細情報

コールドカソード真空計　TRC-21

■逆マグネトロン型コールドカソード真空計
■測定レンジ：5.0×10^-7Pa～1Pa
■センサ保護機能
■圧力に比例した2種類のアナログ電圧出力
■RS-485インターフェース
■仮数部2桁設定可能なセットポイント2点
■簡易クリーニング

製品詳細情報

電離真空計　TRI-10

■金属センサ+制御回路+表示パネル」一体化による省スペースを実現。
■圧力に応じてエミッション電流を自動切替、1.33×10^-7〜6.66Paの広範囲を精度良く測定。
■圧力データの監視機能が充実、デジタル通信とアナログ出力を標準装備。
■16種類のガス感度補正などの付加機能で、生産装置の自動化や試験装置の操作簡略化が可能。

製品詳細情報