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複合真空計 TRPC-21

複合真空計 TRPC-21

製品情報【真空計 TRシリーズ|複合真空計 TRPC-21】

特長・用途・目的

特長 ■未放電防止機能を追加しました
■お客様のご要望に応えD-SUBコネクタを新たに採用しました
■アナログ電圧出力が1→2種類選択できるようになりました
■セットポイント設定の分解能が仮数部1→2桁になりました
カタログ(PDF)

ラインナップ

型式 TRPC-21-N25(NW25)/TRPC-21-C70ICF70
測定方式

ピラニ:低温度方式 CCG:逆マグネトロン方式

圧力測定範囲

5.0×10-7〜大気圧

圧力分解能

仮数部(小数点以下2桁を含む3桁)+符号付指数部

精度 ※1

5.0×10-7~1.0×104:±30%

1.0×104~大気圧:±50%
許容圧力 ※2 200kPa(絶対圧)
周囲温度範囲 運転時:555℃ 保管時:-1070
電源定格 DC15〜30V/3W
アナログ出力

アナログ出力設定:2種類から選択 ※3 

0〜10V(負荷抵抗:10kΩ以上) 圧力[Pa]=10^(1.667×出力電圧[V]-9.33
デジタル通信 RS-485 2線式半二重
保護構造 IP40相当
適合規格 RoHS10物質対応、CE
コネクタ形状 9P D-SUB プラグ
セットポイント 2点(オープンコレクタ出力) 出力定格:DC30V 50mA
機能
キャリブレーション(大気側、高真空側)、ピラニ単独測定モード
接ガス部材質 SUS304、Fe-NiW、ガラス、MoAl2O3Kovar、フッ素ゴム
接続継手形状 NW25(標準)、ICF70(オプション)
センサ内部容積 18㎤(NW25) / 26(ICF70)
最大コード長 30m(供給電源DC24V
外形寸法

φ65mm×111.5mmNW25

φ70mm×126.8mmICF70
質量 705 g(NW25)/1010 gICF70
ベーキング温度

150℃(但しガスケットの最高使用温度に準ずる)

条件:回路ユニット、マグネット無し
付属品 コネクタ※4
オプション

測定コード:CO-TRZ-05(コード長 標準5m ※5

磁気シールド:MS-TR-1(接続継手形状NW25のみ装着可能)
※1  N2、周囲温度23℃一定、水平取付、大気・高真空キャリブレーション実施時
※2 クランプやフランジなどの許容圧力を別途ご確認ください。
※3 アナログ出力設定の詳細につきましては、営業部までお問い合わせください
※4 測定コード(オプション)を同時に購入された場合、コネクタは付属されません。
※5 標準5mを超えるコード長をご要望の場合はお問合わせください。

<TRPC-10/TRPC-20 から TRPC-21 への変更点>

※外形寸法図のダウンロードはこちらからお願いします。

・TRPC-21-NW25 [PDF] [DXF]
・TRPC-21-ICF70 [PDF] [DXF]

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