油拡散ポンプ DPAシリーズ
製品情報【油拡散ポンプ｜油拡散ポンプ DPAシリーズ】
特長・用途・目的
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カタログ（PDF）特長 ■消費電力を従来比(DPFシリーズ)4割削減した省エネ型ポンプ（内熱式ヒータ）
■質量を従来比1/2にし軽量コンパクト化を実現
■交換可能な内熱式ヒータを採用
■立ち上がり時間を従来品(DPFシリーズ)より1/2に短縮
■エジェクター作用を兼ね備えたジェットにより臨界背圧を著しく高めました用途 ■大型蒸着装置、スパッタ装置等
■真空熱処理炉、真空溶解炉、真空ロー付炉用等
■各種真空排気装置
ラインナップ
| 型式 | DPA-18R |
|---|---|
| 到達圧力 (Pa) |
< 2.0×10-5 |
| 公称排気速度 (L/sec) バッフル無し |
9000 |
| 実効排気速度 (L/sec) バッフル無し *注1 |
8000 |
| 実効排気速度 (L/sec) ルーバーバッフル *注1 |
4600 |
| 油逆流量 (mg/cm2·min) 吸入圧 10-5～10-2Pa ルーバーバッフル |
×10-5～×10-4 |
| 無負荷臨界背圧 (Pa) *注2 | 59 |
| 所要電力 (kW) 3φ 200V | 3.5 |
| 立ち上がり時間 (min) | 20 |
| 所要水量 (L/min) | 5 |
| 質量 (kg) バッフル含む | 110 |
| 全高 (mm) 床面より、バッフル含む |
840 |
| 標準作動油 油量 (L) ネオバックSY |
2.0 |
| 吸気口フランジ | VG 450 |
| 排気口フランジ | VG 100 |
| 型式 | DPA-22R |
|---|---|
| 到達圧力 (Pa) |
< 2.0×10-5 |
| 公称排気速度 (L/sec) バッフル無し |
13000 |
| 実効排気速度 (L/sec) バッフル無し *注1 |
12800 |
| 実効排気速度 (L/sec) ルーバーバッフル *注1 |
6900 |
| 油逆流量 (mg/cm2·min) 吸入圧 10-5～10-2Pa ルーバーバッフル |
×10-5～×10-4 |
| 無負荷臨界背圧 (Pa) *注2 | 65 |
| 所要電力 (kW) 3φ 200V | 5.4 |
| 立ち上がり時間 (min) | 20 |
| 所要水量 (L/min) | 7 |
| 質量 (kg) バッフル含む | 160 |
| 全高 (mm) 床面より、バッフル含む |
960 |
| 標準作動油 油量 (L) ネオバックSY |
3.0 |
| 吸気口フランジ | VG 550 |
| 排気口フランジ | VG 150 |
| 型式 | DPA-24R |
|---|---|
| 到達圧力 (Pa) |
< 2.0×10-5 |
| 公称排気速度 (L/sec) バッフル無し |
16000 *注3 |
| 実効排気速度 (L/sec) バッフル無し *注1 |
13200 |
| 実効排気速度 (L/sec) ルーバーバッフル *注1 |
7900 |
| 油逆流量 (mg/cm2·min) 吸入圧 10-5～10-2Pa ルーバーバッフル |
×10-5～×10-4 |
| 無負荷臨界背圧 (Pa) *注2 | 65 |
| 所要電力 (kW) 3φ 200V | 6.6 |
| 立ち上がり時間 (min) | 30 |
| 所要水量 (L/min) | 10 |
| 質量 (kg) バッフル含む | 210 |
| 全高 (mm) 床面より、バッフル含む |
1050 |
| 標準作動油 油量 (L) ネオバックSY |
3.5 |
| 吸気口フランジ | VG 600 |
| 排気口フランジ | VG 150 |
| 型式 | DPA-28R |
|---|---|
| 到達圧力 (Pa) |
< 2.0×10-5 |
| 公称排気速度 (L/sec) バッフル無し |
20000 *注3 |
| 実効排気速度 (L/sec) バッフル無し *注1 |
17700 *注3 |
| 実効排気速度 (L/sec) ルーバーバッフル *注1 |
9800 |
| 油逆流量 (mg/cm2·min) 吸入圧 10-5～10-2Pa ルーバーバッフル |
×10-5～×10-4 |
| 無負荷臨界背圧 (Pa) *注2 | 67 |
| 所要電力 (kW) 3φ 200V | 8.0 |
| 立ち上がり時間 (min) | 30 |
| 所要水量 (L/min) | 上回路3以上 下回路9以上 |
| 質量 (kg) バッフル含む | 250 |
| 全高 (mm) 床面より、バッフル含む |
1170 |
| 標準作動油 油量 (L) ネオバックSY |
4.5 |
| 吸気口フランジ | VG 700 |
| 排気口フランジ | VG 200 |
| 型式 | DPA-36R |
|---|---|
| 到達圧力 (Pa) |
< 2.0×10-5 |
| 公称排気速度 (L/sec) バッフル無し |
37000 *注3 |
| 実効排気速度 (L/sec) バッフル無し *注1 |
28200 *注3 |
| 実効排気速度 (L/sec) ルーバーバッフル *注1 |
17000 *注3 |
| 油逆流量 (mg/cm2·min) 吸入圧 10-5～10-2Pa ルーバーバッフル |
×10-5～×10-4 |
| 無負荷臨界背圧 (Pa) *注2 | 61 |
| 所要電力 (kW) 3φ 200V | 12.0 |
| 立ち上がり時間 (min) | 40 |
| 所要水量 (L/min) | 上回路5以上 下回路13以上 |
| 質量 (kg) バッフル含む | 440 |
| 全高 (mm) 床面より、バッフル含む |
1520 |
| 標準作動油 油量 (L) ネオバックSY |
8.0 |
| 吸気口フランジ | VG 900 |
| 排気口フランジ | VG 200 |
＊冷却水温度は入口側10ºC以上、出口側30ºC以下にてご使用願います。（結露なきこと）
*注1 JIS B 8317-1:1999に準拠
*注2 JIS B 8317-2:1999に準拠
*注3 輸出貿易管理令のリスト規制貨物に該当
*外観・仕様につきましては改善のため予告なく変更する事があります。
※外観寸法図のダウンロードはこちらからお願いします。
・DPA-18R[PDF] [DXF]
・DPA-22R[PDF] [DXF]
・DPA-24R[PDF] [DXF]
・DPA-28R[PDF] [DXF]
・DPA-36R[PDF] [DXF]
