
| 特長 | ■熱フィラメントによる高硬度ダイヤモンド成膜の研究・開発に |
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| 用途 | 耐摩耗性向上、商品の長寿命化 センサー、工具 |
| 目的 | 高硬度のダイヤモンド成膜 |
【カスタマイズ対応品:ご要望に合わせた様々なカタチをご提案します。】
カタログ(PDF)| 加熱温度 | 2000℃(フィラメントヒーター温度を放射温度計にて測定) |
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| 試料サイズ | 約100×100 t=3-10㎜ φ10-20×H30-50㎜ |
| 真空チャンバー | SUS 約φ600×H600 |
| 構造 | 水冷ジャケット構造真空チャンバ |
| 圧力測定器 | ピラニ真空計、隔膜真空計 |
| 真空排気系 | 油回転ポンプ GHP-240B |
| ガス導入系 | マスフローコントローラ2系統(H2用、CH4用) |