リニアイオンソース（LIS）｜大亜真空株式会社（千葉県）

リニアイオンソース（LIS）

特長	■イオンエッチング装置に搭載している丸型イオンソースを改良し、大面積に照射できるように長尺化しました。 ■幅広フィルム製造の前処理や大型ワークのエッチングが可能になります。
メリット	従来のLISの構造は、中央部に強力な永久磁石を配置し、磁場を形成する方式でした。メンテナンスにより部品脱着をする際には、強力な永久磁石により部品脱着が困難でメンテナンスの不安がありましたが、独自の電磁コイル方式にすることにより、OFF状態では磁場が発生しないため、部品の脱着が容易になるとともに、磁気吸着によるコンタミを抑制します。これにより長時間運転も可能になりメンテナンス性も向上します。
提案内容	■LISと専用の高電圧電源のコンポーネント販売およびLIS搭載の大型装置の提案も可能です。 ■サイズラインアップも拡充中です。

製品に関するお問い合わせはこちらからお願いいたします。（新明和工業㈱HP）

※ビーム長さ1,000mm以上のサイズはご相談ください。
※記載の仕様または機能は、技術改善などにより予告なく変更する場合があります。

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