コールドカソード真空計 TRC-21
製品情報【真空計 TRシリーズ｜コールドカソード真空計 TRC-21】
特長・用途・目的
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カタログ（PDF）特長 ■逆マグネトロン型コールドカソード真空計
■測定レンジ：5.0×10-7Pa～1Pa
■センサ保護機能
■圧力に比例した2種類のアナログ電圧出力
■RS-485インターフェース
■仮数部2桁設定可能なセットポイント2点
■高い圧力領域での連続測定を改善（当社比）
ラインナップ
| 型式 | TRC-21-N25（NW25）／TRC-21-C70（ICF70） |
|---|---|
| 測定方式 |
逆マグネトロン方式 |
| 圧力測定範囲 |
5.0×10-7〜1Pa |
| 圧力分解能 |
仮数部（小数点以下２桁を含む３桁）+符号付指数部 |
| 精度 ※1 | ±30% |
| 許容圧力 ※2 | 200kPa（絶対圧） |
| 周囲温度範囲 | 運転時：5～55℃ 保管時：-10～70℃ |
| 電源定格 | DC15〜30V/3W |
| アナログ出力 | アナログ出力設定：２種類から選択 ※3 0〜10V(負荷抵抗:10kΩ以上) 圧力[Pa]=10＾（出力電圧[V]-8.5） |
| デジタル通信 | RS-485 2線式半二重 |
| 保護構造 | IP40相当 |
| 適合規格 | RoHS10物質対応、CE |
| コネクタ形状 | 9P D-SUB プラグ |
| セットポイント | 2点(オープンコレクタ出力) 出力定格：DC30V 50mA |
| 機能 |
測定on-off |
| 接ガス部材質 | SUS304、Mo、Al2O3、Kovar、フッ素ゴム |
| 接続継手形状 | NW25（標準）、ICF70（オプション） |
| センサ内部容積 | 18m3(NW25) ／ 26cm3(ICF70) |
| 最大コード長 | 30ｍ（供給電源DC24V） |
| 外形寸法 | φ65mm×111.5mm（NW25） φ70mm×126.8mm（ICF70） |
| 質量 | 705 g（NW25）／1010 g（ICF70） |
| ベーキング温度 | 150℃（但しガスケットの最高使用温度に準ずる） 条件：回路ユニット、マグネット無し |
| 付属品 | コネクタ※4 |
| オプション | 測定コード：CO-TRZ-05（コード長 標準5ｍ ※5） 磁気シールド：MS-TR-1（接続継手形状NW25のみ装着可能） |
※2 クランプやフランジなどの許容圧力を別途ご確認ください。
※3 アナログ出力設定の詳細につきましては、営業部までお問い合わせください
※4 測定コード（オプション）を同時に購入された場合、コネクタは付属されません。
※5 標準5ｍを超えるコード長をご要望の場合はお問合わせください。
＜TRC-10／TRC-20 から TRC-21 への変更点＞
※外形寸法図のダウンロードはこちらからお願いします。
